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凈化工程

潔凈室簡(jiǎn)介

  • 上架時(shí)間:2024-05-16
  • Product description: 深圳卓諾中科科技發(fā)展有限公司,工廠(chǎng)始建于1998年,本世紀初中國電子科技行業(yè)蓬勃發(fā)展,公司戰略調整為國內最早從事微電子工程裝備研發(fā)及生產(chǎn)。
1.簡(jiǎn)介
        潔凈室的發(fā)展與現代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內曾統計過(guò),在無(wú)潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
2.按受控粒子的性質(zhì)劃分
        (1)工業(yè)潔凈室:受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
        (2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。
3.實(shí)現潔凈度要求的通風(fēng)措施
        潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 :
        (1) 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過(guò)濾器(潔凈級別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行最后一級過(guò)濾。為保護終端過(guò)濾器和延長(cháng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。
        (2) 根據潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內的微粒從回風(fēng)口排走。
        (3) 有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。
        (4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

4.潔凈室氣流組織考慮原則
        (1) 當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時(shí),選用層流流型;當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時(shí),選用亂流流型。
        (2) 減少渦流,避免把工作區以外的污染物帶入工作區。
        (3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過(guò)大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風(fēng)口。
        (4) 工作區的氣流應均勻,流速必須滿(mǎn)足工藝和衛生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來(lái),使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。
        (5) 工作設備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng )造條件:氣流組織設計時(shí)要考慮高大設備對氣流組織的影響。
        (6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時(shí),宜將其置于工作區氣流的上風(fēng)側,以提高室內的空氣潔凈度。
        (7) 潔凈室內有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區氣流的下風(fēng)側,以減少對室內的污染。
5.潔凈室設計對生產(chǎn)工藝的要求
        (1) 潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設計必須滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時(shí)生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數的要求應該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。
        (2)在生產(chǎn)工藝平面區劃時(shí)盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風(fēng)側,把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外,若必須放在潔凈區內時(shí)應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。
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